La técnica se basa en la emisión de fotones de cada elemento como consecuencia de la excitación por rayos X. La emisión se da en los niveles electrónicos de alta energía. El fotón emitido tiene una energía característica que es la huella dactilar.
Usando la La ley de Bragg: 𝑛l=2𝑑𝑆𝑒𝑛q
Donde la distancia interplanar d es conocida por el cristal monocromador y el espectrómetro hace un barrido angular donde se identifican líneas a un determinado ángulo q. Por lo tanto, la longitud de onda l puede ser determinada, logrando así la identificación de los elementos presentes en un espécimen.
La técnica permite realizar un análisis cuantitativo de elementos mayores (>1% en peso) y elementos menores y trazas (ppm), para ello se usa el método de Sherman para calibración con base de datos y el método de muestras referencia.
